清华大学微电子与纳电子学系(以下简称微纳电子系)是以1980年成立的清华大学微电子学研究所为基础，于2004年成立的新系。它的成立标志着我国微电子学研究正向纳电子学逐渐过渡，是学科发展的需要，也是全面提升科研、教学水平的需要。科研与教学设施先进，师资力量雄厚，是国务院首批批准的硕士、博士研究生培养点和博士后流动站。目前有教授、研究员15名(其中博士生导师17人)，副教授、副研究员41名，45岁以下年青教师55人、具有博士学位56人。微纳电子系现有在校本科生一百多名，博士生近百人;工学硕士生70多人，工程硕士近270人。
微纳电子系包括四个研发、教学基地，分别是：微纳器件与系统研究室、固体器件与集成技术研究室、集成电路与系统设计研究室、CAD技术研究室，主要有以下研究方向：新型微电子器件与系统、纳电子学;各类新型SiGe微波功率半导体器件与集成电路以及其它特殊用途的硅集成电路的研究开发;大规模集成电路设计和测试的理论和技术;半导体物理、器件与大规模集成电路CAD等方面的研究工作。
微电子是目前国内发展最快的行业之一，也是人才紧缺的行业。为满足国内集成电路设计和工艺技术人才日益增长的需求，经清华大学研究生院批准，清华大学微纳电子学系与深圳研究生院联合在2012年按自筹经费调剂招收 “集成电路工程领域”全日制(合格获得研究生毕业证、学位证书)工程硕士研究生。 微纳电子系与比利时鲁汶大学(K. U. Leuven)签订了联合培养协议，部分同学可获得到比利时学习并获得两所大学的硕士学位证书的机会。
微纳电子系已毕业的工程硕士生目前就业率为100%。这些毕业生有的就职于IBM、摩托罗拉、展讯、威盛、同方微电子、意法半导体、中国华大、中星微电子等国内外知名企业，有的在中国科学院、外交部、工业与信息化部、电子科技集团、电力科学研究院、国家知识产权局、中国移动、中国航天科技集团下属的研究院所、中国船舶工业集团工作，有的毕业生考取了包含清华大学在内的博士研究生继续深造，还有约10%的毕业生在美国、欧洲等国外大学继续深造。
二、培养方式与学位授予
1. 学习期限及培养方式 ：全日制脱产学习2-3年，户口、档案及组织关系转入清华大学。学籍由清华大学研究生院统一管理，并执行清华大学“集成电路工程领域”工程硕士培养方案。
2. 学位授予 ：学生学习期满、修满培养方案规定的学分、成绩合格，并完成论文等规定培养环节，通过清华大学组织的论文答辩，并经过清华大学学位委员会审议通过后，授予清华大学硕士研究生毕业证书和工程硕士学位证书。
3. 培养费用：3.9万元/人(包括学费、论文指导费及答辩费等)。新生入学交2万，第二学年注册前交1.9万。
4. 住宿：在深圳研究生院学习期间，按深圳研究生院的住宿统一规定执行;在校本部学习期间，按学校有关研究生住宿的统一规定执行。(注：在深圳学习期间清华大学深圳研究生院对每个研究生每月补助600元).
